國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品需要滿足什么條件？

　　說到掃描電鏡，很多人可能是聽說過的，這是一種非常普遍的設(shè)備，市場上國產(chǎn)掃描電鏡品牌和廠商也非常的多，應(yīng)用的范圍很廣泛。掃描電鏡本身是一種多功能的設(shè)備、其有很多*的性能、特別是在鑒定分析中其是使用廣泛的一種設(shè)備。一般來講，我們使用它對被觀測物體的外觀形貌進行觀測或分析，另外在觀察形貌的同時，我們也可以對掃描電鏡選配EDS進行元素成份分析。

　　由于國產(chǎn)掃描電鏡并非直接觀測，而是通過發(fā)射電子束對樣品進行激發(fā)，并使用背散射或二次電子探測器對被觀測物體的成份像和形貌像進行分析。由于掃面電鏡的工作方式就決定了，一般說來使用掃描電鏡觀測的樣品需要滿足如下幾個要求：

　　1.形貌形態(tài)，必須耐高真空

　　掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來成像的?？諝獾拇嬖跁沟碾娮邮冃停绊憭呙栊Ч?，所以被測樣品比較能耐高真空。

　　2．樣品表面不能含有有機油脂類污染物

　　油污在電子束作用下極端容易分解成碳?xì)浠?，對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

　　3．樣品必須是干燥的

　　水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。

　　4．樣品表面可以導(dǎo)電

　　樣品表面必須可以導(dǎo)電，如果不能導(dǎo)電，則必須鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時樣品如同一個電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品，建議采用離子濺射鍍膜機噴鍍金屬，這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

　　5．特殊樣品制備的考慮因素

　　掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料，如果一定要觀測此類物質(zhì)，則建議對材料首先進行退磁。如果要檢測觀察弱反差機理，就必須消除強反差機理（例如，形貌反差），否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差（EBSD），I和II型磁反差或其他弱反差機理時，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，以使樣品產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。

　　通過以上了解，相信大家對國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品有了一定的認(rèn)識，總結(jié)說來，掃描電鏡樣品通常需要在真空環(huán)境下進行觀測（目前少數(shù)電鏡也有采用低真空技術(shù)進行觀測的），因此其對被觀察樣品的要求簡單說來就是，樣品需要：干燥、無油、導(dǎo)電。